Mitutoyo三豐調心電動轉塔378-713DC

調心電動轉塔

 多可安裝5個物鏡，轉塔的方向可相對于安裝面自由設置。

 在VMU-V上安裝的示例 (物鏡為選件)

 貨號 378-713DC 觀察方法 明視場觀察 物鏡安裝孔數(shù) 5(基準孔1 、帶調心機構孔4) 視場調節(jié)范圍 ±0.5mm 定位精度(重復停止精度) 2σ＝3µm 驅動壽命(耐久性) 100萬個位置 驅動方式 DC電機 輸入電源 AC100V～240V 大功耗約10W 外部輸入輸出接口※ RS-232C(用于使用計算機進行外部控制) 附帶電纜長度 3m(連接電動轉塔部和控制箱) 外觀尺寸：W×H×D(mm)、重量 主體部分：130×47×186、約1.8kg 控制箱：108×63×176、約810g ※連接時請使用【RS-232C 電纜(12AAA807)】

(低倍率側：2/3型、高倍率側：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物鏡組合，可實現(xiàn)高精度、高

品質加工。

與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。

　★保護膜、有機薄膜等的剝離

　★金、鋁等金屬配線切割、下層圖案的外露

　★FPD的各種缺陷修正

　★光掩模修正

　★標記、修剪、圖像形成、局部退火、劃線

憑借長動作距離設計的物鏡，實現(xiàn)優(yōu)異的操作性。

與定位器、探針臺等組合。

通過與激光加工裝置組合，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng)。

此外，還提供支持隔著玻璃的、真空內的外觀檢查的系統(tǒng)